AM-3D 多涂层厚度激光光谱 3D 测量分析仪
AM3d 多涂层测厚仪采用激光诱导击穿光谱(LIBS)技术，短脉冲激光从表面烧蚀一小部分(通常只有几个 μm3)，将其转化为等离子体，这种等离子体发射出特定于物质的光谱，系统实时记录光的光谱分布，根据这一数据，确定了测量点的单元分布；通过分析多种激光脉冲以极快的速度发射到工件上的测量点，使工件测量点的分布逐渐被记录为深度的函数，构成对涂层和工件材料的组成以及涂层厚度的完整分析。系统测量涂层厚度的精度为±5%。厚度从 500 nm 到 50μm 涂层，特别的是，用这种方法可以完全表征工件上多层涂层的层序； 测量在几秒钟内完成。
一个应用案例是在金属或塑料组件上测试金属层，例如用于电子组件的铜涂层。此外， 还可以对金属表面的防腐涂层进行分析。许多其他功能层，如钝化，表面处理，或保护涂层 可以快速和可靠地以这种方式进行表征。
设备主要性能指标：
测量范围：涂层厚度 0.5~50µm
测量精度：涂层厚度±5%
涂层材料：金属涂层，含硅烷、磷酸盐等，需提供样品测试
测量时间：每测点 1s
激光光斑尺寸：80µm
分辨率：200 µm
测量距离：2~10 cm
上图左：铜表面镀镍的等离子体光谱：表面光谱(黑)，深度光谱(红)，深度为 12 微米。
上图中：设备计数激光脉冲，直到基材出现在光谱中。一个参考样品被用来校准这个过程。
上图右：由于场不均匀性(此处在 50 毫米铜样品上电镀镍)，局部电镀层可能有所不同。
对样品进行逐层分析，系统提供了镍分布的深度剖面图
嘉盛科技为客户提供红外、激光、微波、太赫兹等先进涂层厚度测量分析技术。
2019年7月23日 21:14
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