德国WorX微焦点射线机
技术简介：
开管式高分辨率微焦点X射线管，用于X射线无损检测和计算断层扫描（CT）。
设备分辨率可以达到亚微米级，小于200纳米的精度，功率更高，使其应用范围更加广泛，使用高质量的材料制造，更加耐用，输出更加稳定。
为了涵盖不同的应用，我们将微焦点X射线管分为三类：透射式微焦点射线管、反射式微焦点射线管和棒阳极微焦点射线管。在高分辨率分析领域中，使用透射式管头以获得超高放大倍率。如果需要更高的功率，例如检测金属等致密材料，可使用反射式管头。棒阳极管用于常规X射线源不易接近的地方，例如进入机械部件或管道内部。
一、X-RAY WorX GmbH透射式微焦点射线机：
T系列透射式微焦点X射线管
THE系列透射式微焦点X射线管
THE Plus系列透射式微焦点X射线管
TC系列透射式微焦点X射线管
TCHE Plus系列透射式微焦点X射线管
TCNF系列透射式微焦点X射线管
TCNF Plus系列透射式微焦点X射线管
透射式微焦点X射线管技术特点：
透射靶材在所谓的焦点处被聚焦的电子束击中。 此焦点的大小决定了所得X射线图像的清晰度。 焦点越大，几何清晰度就越低。 对于高分辨率X射线分析，必然会要求有一个小的焦点。
电子，汽车，医疗和航空航天行业中的高分辨率设备特点：
●JIMA分辨率低至2 µm。
●借助靶材冷却和高能靶材获得的高靶材功率，减少了CT，CL和尺寸测量（DM）应用的扫描时间。
●通过优化管头和靶材的冷却，增加了焦点和辐射强度的稳定性。
●具有对中和聚焦线圈的单级电子发射管。
半导体工业和材料科学中的超高分辨率设备特点：
●用于CT的亚微米范围高分辨率靶材使得JIMA分辨率低至0.5 µm。
●几何放大率高达4000倍（100cm焦点探测器距离情况下）。
●支持不同靶材材料的特征吸收。
●双级电子发射管。
●冷却所有暴露在热环境中的部件，例如线圈和靶材。
●精确对准所有组件，如阴极，孔和靶。
●无振动真空装置和无振动安装。
●优化的透射靶标。
透射式微焦点X射线管结构说明：
透射式X射线管的头部包含一个平板型的“靶子”，上面覆盖着一层非常薄的钨。根据X射线管的应用，该层的厚度为1-10微米。被射线管高压电场加速的高速电子垂直撞击钨靶并发生反应，在另一侧放出X射线。
透射式X射线管横截面
※ T系列透射式微焦点X射线管：
特点：
• 用于连续高强度辐射的自动强度控制（AIC）
• 自动管校准，以达更佳性能
• 预先调好即插即用的阴极单元和自动管排气系统，便于维护
• 易于集成到检测系统中
• 管头铰链、真空法兰和电子连接器的灵活定位
• 无限使用寿命
组件：
• 带有透射靶，涡轮真空泵，真空计和电子驱动单元的开管式微焦点X射线管
• 高压发生器和高压电缆
• 带真空软管的预真空泵
• 19英寸安装面板上的电子管控制器，电源和安全继电器
• 一组用于X射线管和组件电气连接的电缆
• 备件箱，文档和操作软件
XWT-160-T透射式微焦点X射线管
T系列透射式微焦点X射线管技术参数：
※ THE系列透射式微焦点X射线管：
特点：
• 靶功率可达25W
• 高分辨率、高靶功率、高放大倍率的完美结合
• 为在线和离线计算机断层扫描、X射线分层扫描和平面计算机断层扫描而设计
• 用于连续高强度辐射的自动强度控制（AIC）
• 射线管自动排气，已延长真空组件的使用寿命
组件：
• 带有透射靶，涡轮真空泵，真空计和电子驱动单元的开管式微焦点X射线管
• 高压发生器和高压电缆
• 带真空软管的预真空泵
• 19“安装面板上的电子管控制器，电源和安全继电器
• 一组用于X射线管和组件电气连接的电缆
• 备件箱，文档和操作软件
XWT-160-THE透射式微焦点X射线管
THE系列透射式微焦点X射线管技术参数：
※ THE Plus系列透射式微焦点X射线管：
特点：
• 功率可达50W
• 高分辨率、高靶功率、高放大倍数完美结合
• 为在线或离线计算机断层扫描、分层扫描或平面计算机断层扫描设计
• 用于连续高强度辐射的自动强度控制（AIC）
• 管自动排气系统，延长真空组件的使用寿命
组件：
• 带有透射靶，涡轮真空泵，真空计和电子驱动单元的开管式微焦点X射线管
• 高压发生器和高压电缆
• 带真空软管的预真空泵
• 19“安装面板上的电子管控制器，电源和安全继电器
• 一组用于X射线管和组件电气连接的电缆
• 备件箱，文档和操作软件
XWT-300-THE Plus透射式微焦点X射线管
THE Plus系列透射式微焦点X射线管技术参数：
带聚焦线圈的透射式微焦点X射线管结构说明：
带聚焦线圈的透射X射线管横截面
※ TC系列透射式微焦点X射线管：
特点：
• JIMA分辨率0.9μm
• 三种运行模式，高功率模式、微焦点模式、纳焦点模式
• 用于连续高强度辐射的自动强度控制（AIC）
• 自动管校准，以达更佳性能
• 预先调好即插即用的阴极单元和自动管排气系统，便于维护
组件：
• 带有透射靶，涡轮真空泵，真空计和电子驱动单元的开管式微焦点X射线管
• 高压发生器和高压电缆
• 带真空软管的预真空泵
• 19英寸安装面板上的电子管控制器，电源和安全继电器
• 一组用于X射线管和组件电气连接的电缆
• 备件箱，文档和操作软件
XWT-225-TC透射式微焦点X射线管
TC系列透射式微焦点X射线管技术参数：
※ TCHE Plus系列透射式微焦点X射线管：
特点：
• JIMA分辨率0.9μm
• 三种运行模式，高功率模式、微焦点模式、纳焦点模式
• 用于连续高强度辐射的自动强度控制（AIC）
• 自动管校准，以达更佳性能
• 预先调好即插即用的阴极单元和自动管排气系统，便于维护
组件：
• 带有透射靶，涡轮真空泵，真空计和电子驱动单元的开管式微焦点X射线管
• 高压发生器和高压电缆
• 带真空软管的预真空泵
• 19英寸安装面板上的电子管控制器，电源和安全继电器
• 一组用于X射线管和组件电气连接的电缆
• 备件箱，文档和操作软件
XWT-240-TCHE Plus透射式微焦点X射线管
TCHE Plus系列透射式微焦点X射线管技术参数：
※ TCNF系列透射式微焦点X射线管：
特点：
• 超高JIMA分辨率（0.5um）和放大倍率，适用于半导体、电子器件、组装应用的
• 适于在线和离线、二维和三维的X射线检测
• 管头的液体冷却，优化焦点位置的稳定性
• 涡轮泵的液体冷却，避免震动
• 自动排气，可延长真空组件的使用寿命
• 预先调好即插即用的阴极单元，便于维护
组件：
• 带有透射靶，涡轮真空泵，真空计和电子驱动单元的开管式微焦点X射线管
• 涡轮泵冷却元件
• 管头内部水冷
• 高压发生器和高压电缆
• 带真空软管的预真空泵
• 带软管和冷却剂的冷却装置
• 19英寸安装面板上的电子管控制器，电源和安全继电器
• 一组用于X射线管和组件电气连接的电缆
• 备件箱，文档和操作软件
XWT-160-TCNF透射式微焦点X射线管
TCNF系列透射式微焦点X射线管技术参数：
※ TCNF Plus系列透射式微焦点X射线管：
特点：
• 超高JIMA分辨率（0.5um）和放大倍率，适用于半导体、电子器件、组装应用的
• 适于在线和离线、二维和三维的X射线检测
• 管头的液体冷却，优化焦点位置的稳定性，移动小于±1um
• 涡轮泵的液体冷却，避免震动
• 自动排气，可延长真空组件的使用寿命
组件：
• 带有透射靶，涡轮真空泵，真空计和电子驱动单元的开管式微焦点X射线管
• 涡轮泵冷却元件
• 管头内部水冷
• 高压发生器和高压电缆
• 带真空软管的预真空泵
• 带软管和冷却剂的冷却装置
• 19英寸安装面板上的电子管控制器，电源和安全继电器
• 一组用于X射线管和组件电气连接的电缆
• 备件箱，文档和操作软件
XWT-160-TCNF Plus透射式微焦点X射线管
TCNF Plus系列透射式微焦点X射线管技术参数：
透射式微焦点X射线管产品应用举例：
高分辨率X射线检查和微焦点CT技术可确保现代汽车中与安全相关的组件的质量。
其中包括由轻金属合金制成的底盘框架部件和由复合材料制成的车身部件，这些部件应有助于减轻重量并提高汽车的能源效率。此外，高级驾驶员辅助系统（ADAS），混合动力发动机或电动发动机的高效驱动组件及其能量供应系统（大功率电池和电子设备，IGBT）。
典型应用
• 电子组装
• 电子控制单元
• 微机械设备
• 插头和压接
• 电池组
在引入诸如BGA和QFN之类的电子封装之后，半导体和电子产品生产中的电气互连件的微焦点X射线检查已成为一项标准。
越来越多的复杂产品，如PoP、FBGA-SD，已经提高了对精度和分辨率的要求。此外，具有多达48层的已组装和裸露的多层印刷电路板（MLPCB）或具有嵌入式铜层的印刷电路板都需要配备强大的微焦点X射线管的特殊测试设施。
典型应用
• 球栅阵列（BGA），集成电路（IC），焊线
• 半导体封装（二极管，晶圆凸点，铜）
• 屏蔽设备，外壳，完整模块
• 晶圆级芯片规模封装（WLCSP）
• 四方扁平无引线（QFN），类似组件
• 印刷电路板，隐藏式互连
• 裸板，多层板
• 电源模块，IGBT模块
在人类医学中，钛合金或陶瓷等现代材料，小型电子设备和强大的电池起着重要的作用。每个将在医学上应用的设备都需要通过许多精心的测试。基于此，我们还发现了高分辨率的微焦点X射线检查。
典型应用
• 起搏器或植入式心脏复律除颤器（ICD）等医疗设备
• 钛和陶瓷植入物
• 支架
• 针筒
• 吸入器
• 疫苗瓶
微焦点X射线技术在检查轻合金铸件，飞机涡轮机零件或执行器等机械组件中起着重要作用。小型化的趋势是生产更小更轻的零件以减轻重量并节省材料。
在生产的每个阶段，对质量的要求都在提高。缺陷的公差降低到只有几微米。
典型应用
• 机械组件，例如控制阀或襟翼执行器
• 导线和风道中的周向电子束（EB）焊接
• 转子叶片，涡轮叶片
• 飞机涡轮机
• 电子组装
• 钛和铝铸件
• 复合材料
使用微焦点计算机断层扫描技术对科学样品和原型进行研究非常普遍。它允许对结构进行无损视觉分析，并且是模拟不同环境条件（例如压力和温度）的基础。
例如岩石中的水流或甲烷水合物的分解。可以使用高分辨率X射线系统发现有价值的历史文物的形成和组成。应用可以在多个领域中找到，例如材料科学，考古学，地质学，生物学和物理学。
典型应用
• 塑料，陶瓷，轻合金
• 化合物，纤维增强材料
• 有机材料，种子，树干
• 土壤，冰钻芯
• 混凝土，岩石
• 考古发现，绘画，雕像
• 超导材料
二、X-RAY WorX GmbH 反射式微焦点射线机：
SE系列反射式微焦点X射线管
CT系列反射式微焦点X射线管
反射式微焦点X射线管结构说明：
反射管或定向管包含一块状金属靶。 内置的集成冷却使得反射管比透射管能达到更高的功率。X射线发射方向相对于电子束的方向约成60°夹角。 由于发射管窗口的限制，X射线发射张角约为30°。
反射式X射线管横截面
反射式微焦点X射线管技术特点
特点：
* 汽车，能源和航空航天行业中的高功率计算机断层扫描（CT）和数字射线照相（DR）应用。
* JIMA分辨率低至2 µm。
* 可以达到很高的靶功率和加速电压。
* 通过优化管头和靶材的冷却来确保长期稳定性。
反射管的焦点和被检物之间的距离比透射管大。因此，相比反射管，利用透射管可以实现的几何放大率更高。
※ SE系列反射式微焦点X射线管：
特点：
* 为CT扫描应用优化的开放式微焦点X射线管
* 管功率350瓦/ 300 kV
* 自动强度控制（AIC），用于射线连续运行时的强度控制
* 射线管自动校准，以优化性能
* 自动排气功能，延长真空组件的使用寿命
* RTU阴极灯丝单元和射线管自动排气功能，使维护更简便
* 无限期的使用寿命
组件：
* 带有反射靶，靶冷却，涡轮真空泵，真空计和电子驱动单元的开放式微焦点X射线管
* 高压发生器和高压电缆
* 带真空软管的预真空泵
* 带软管和冷却剂的冷却装置
* 19英寸安装面板上的电子管控制器，电源和安全继电器
* 一组用于X射线管和组件电气连接的电缆
* 备件箱，文档和操作软件
XWT-300-SE微焦点反射式X射线管
SE系列反射式微焦点X射线管技术参数：
※ CT系列反射式微焦点X射线管
特点：
* 为CT扫描应用优化的开放式微焦点X射线
* 超高管功率，350W/300kV
* 射线连续工作的自动强度控制（AIC）
* 管头和涡轮分子泵冷却，增加CT扫描的检测精度
* 预先调好的阴极灯丝单元，便于维护
* 自动排气阀的自动排气，能延长真空组件的使用寿命
* 射线管自动校准，性能更稳定
* 无限延长的使用寿命
组件：
*带有反射靶，靶冷却，涡轮真空泵，真空计和电子驱动单元的开放式微焦点X射线管
*管头和涡轮泵的冷却元件
*高压发生器和高压电缆
*带真空软管的预真空泵
*两个带软管和冷却剂的冷却装置
* 19英寸安装面板上的电子管控制器，电源和安全继电器
*一组用于X射线管和组件电气连接的电缆
*备件箱，文档和操作软件
XWT-240-CT反射式微焦点X射线管
CT系列反射式微焦点X射线管技术参数：
反射式微焦点X射线管产品应用举例：
高分辨率X射线检查和微焦点CT技术可确保现代汽车中与安全相关的组件的质量。
其中包括由轻金属合金制成的底盘框架部件和由复合材料制成的车身部件，这些部件应有助于减轻重量并提高汽车的能源效率。此外，高级驾驶员辅助系统（ADAS），混合动力发动机或电动发动机的高效驱动组件及其能量供应系统（大功率电池和电子设备，IGBT）。
典型应用
• 电子组装
• 电子控制单元
• 微机械设备
• 插头和压接
• 电池组
在引入诸如BGA和QFN之类的电子封装之后，半导体和电子产品生产中的电气互连件的微焦点X射线检查已成为一项标准。
越来越多的复杂产品，如PoP、FBGA-SD，已经提高了对精度和分辨率的要求。此外，具有多达48层的已组装和裸露的多层印刷电路板（MLPCB）或具有嵌入式铜层的印刷电路板都需要配备强大的微焦点X射线管的特殊测试设施。
典型应用
• 球栅阵列（BGA），集成电路（IC），焊线
• 半导体封装（二极管，晶圆凸点，铜）
• 屏蔽设备，外壳，完整模块
• 晶圆级芯片规模封装（WLCSP）
• 四方扁平无引线（QFN），类似组件
• 印刷电路板，隐藏式互连
• 裸板，多层板
• 电源模块，IGBT模块
微焦点X射线技术在检查轻合金铸件，飞机涡轮机零件或执行器等机械组件中起着重要作用。小型化的趋势是生产更小更轻的零件以减轻重量并节省材料。
在生产的每个阶段，对质量的要求都在提高。缺陷的公差降低到只有几微米。
典型应用
• 机械组件，例如控制阀或襟翼执行器
• 导线和风道中的周向电子束（EB）焊接
• 转子叶片，涡轮叶片
• 飞机涡轮机
• 电子组装
• 钛和铝铸件
• 复合材料
使用微焦点计算机断层扫描技术对科学样品和原型进行研究非常普遍。它允许对结构进行无损视觉分析，并且是模拟不同环境条件（例如压力和温度）的基础。
例如岩石中的水流或甲烷水合物的分解。可以使用高分辨率X射线系统发现有价值的历史文物的形成和组成。应用可以在多个领域中找到，例如材料科学，考古学，地质学，生物学和物理学。
典型应用
• 塑料，陶瓷，轻合金
• 化合物，纤维增强材料
• 有机材料，种子，树干
• 土壤，冰钻芯
• 混凝土，岩石
• 考古发现，绘画，雕像
• 超导材料
三、X-RAY WorX GmbH 棒阳极微焦点射线机
RA系列微焦点棒阳极X射线管
RAC系列微焦点棒阳极X射线管
RAC-SF系列微焦点棒阳极X射线管
微焦点棒阳极X射线管技术特点：
检测厚壁组件如飞机发动机零部件、中空管室或管焊缝时，如果采用标准的微焦点X射线管穿透几层壁厚或者几层物质，在探测器端接收到的射线强度会很弱，而且会增加曝光时间。采用深入零部件内部的X射线源检测，可减少需要穿透的厚度，也可保证焦点离被检测物更近，达到更大的放大倍数。
德国WorX公司研制的棒阳极X射线管，射线窗口位于阳极棒的顶端，阳极棒可深入被检零部件内部检测普通射线源很难到达的区域，探测器、胶片或者成像板位于被检零部件外部。
棒阳极X射线管可达到更高的放大倍数，减少穿透厚度，图像分辨率高，可检测普通射线源无法检测的区域。
* 汽车，能源和航空航天工业中的高分辨率数字射线照相（DR）应用。
* 支持符合EN 17636-2的数字射线照相（DR）应用。
* 棒阳极射线管长度可达1.5 m。
* 具有全景，反射或透射靶标，可更换管头。
微焦点棒阳极X射线管结构说明：
棒阳极X射线管截面图
※ RA系列微焦点棒阳极X射线管：
特点：
* 易于将棒阳极与标准透射靶互换
* 半导体行业的特殊解决方案-提供高能透射棒阳极
* 不同的靶标类型，具有很高的灵活性
* 射线管自动校准，以达到更佳性能
* 预先调好即插即用的阴极单元和自动管排气系统，便于维护
* 质量一流的组件保证了长期稳定性
* 无限期的使用寿命
组件：
* 带棒阳极，涡轮真空泵，真空计和电子驱动单元的开放式微焦点X射线管
* 高压发生器和高压电缆
* 带真空软管的预真空泵
* 19英寸安装面板上的电子管控制器，电源和安全继电器
* 一组用于X射线管和组件电气连接的电缆
* 备件箱，文档和操作软件
XWT-160-RA微焦点棒阳极X射线管
RA系列微焦点棒阳极X射线管技术参数：
※ RAC系列微焦点棒阳极X射线管：
特点：
* 靶标和密封件的内部冷却
* 完全支持新标准EN ISO 17636-2
* 灵活地用于胶片（RT），计算机射线照相（CR）和数字射线照相（DR）
* 自动管校准，以获得更佳性能
* 不同的靶标类型，具有很高的灵活性
* 预先调好即插即用的阴极单元和自动管排气系统，便于维护
* 无限期的使用寿命
组件：
* 带棒阳极，目标冷却，涡轮真空泵，真空计和电子驱动单元的开放式微焦点X射线管
* 高压发生器和高压电缆
* 带真空软管的预真空泵
* 带软管和冷却剂的冷却装置
* 19英寸安装面板上的电子管控制器，电源和安全继电器
* 一组用于X射线管和组件电气连接的电缆
* 备件箱，文档和操作软件
XWT-225-RAC微焦点棒阳极X射线管
RAC系列微焦点棒阳极X射线管技术参数：
微焦点棒阳极X射线管焦点尺寸：
* 可用于胶片（RT），计算机射线照相（CR）和数字射线照相（DR）
* 带棒阳极，目标冷却，涡轮真空泵，真空计和电子驱动单元的开放式微焦点X射线管
* 带软管和冷却剂的冷却装置
* 19英寸安装面板上的电子管控制器，电源和安全继电器
* 一组用于X射线管和组件电气连接的电缆
* 备件箱，文档和操作软件
XWT-225-RAC-SF微焦点棒阳极X射线管
RAC-SF系列微焦点棒阳极X射线管技术参数：
微焦点棒阳极X射线管产品应用举例：
能源行业的主要驱动力是安全性，效率和环保能源的产生。也涉及能量的运输和存储。能源生产通常与高压和高温有关。需要使用不同的X射线检查技术来仔细控制此过程中涉及的所有组件。如果难以接近或可接受的缺陷尺寸低于某些限制，则需要进行微焦点X射线检查。
典型应用
- 风力发电站（功率转换器，IGCT，IGBT）
- 压力阀和压力容器（焊缝）
- 燃气轮机（焊缝）
- 热交换器的管对管板（TTS）焊缝
微焦点X射线技术在检查轻合金铸件，飞机涡轮机零件或执行器等机械组件中起着重要作用。小型化的趋势是生产更小更轻的零件以减轻重量并节省材料。
在生产的每个阶段，对质量的要求都在提高。缺陷的公差降低到只有几微米。
典型应用
- 机械组件，例如控制阀或襟翼执行器
- 导线和风道中的周向电子束（EB）焊接
- 转子叶片，涡轮叶片
- 飞机涡轮机
- 电子组装
- 钛和铝铸件
- 复合材料
四、X-RAY WorX GmbH双管头微焦点射线机
XC系列微焦点双管头（可更换管头）X射线管
微焦点双管头X射线管技术特点：
XC系列产品提供可自动识别的可更换管头。XC系列X射线管适用于科学和研究中的计算机断层扫描（CT）和更高分辨率（HR）检查。由于具有可自动识别的可更换管头，XC系列产品可实现350瓦/ 240kV的极限管功率（反射管）和0.9微米（μm）的JIMA分辨率（透射管），管头转换为多功能应用提供了至关重要的灵活性。该系列产品可以配合不同的靶材（Cu，Ag，Mo，Cr）以适应不同的应用场景。
※ XC系列微焦点双管头X射线管：
特点：
* 可自动识别并自动更换管头
* 管功率可达350W/240kV （反射式靶）
* JIMA分辨率：0.9μm （透射式靶）
* 适应不同应用的高灵活性
* 用于系统连续高强度运行的自动强度控制（AIC）
* 自动管校准以达更佳性能
* 配有预先调好即插即用的阴极单元和管自动排气系统，便于维护
* 无限使用寿命
组件：
* 带有透射靶，涡轮真空泵，真空计和电子驱动单元的开放式微焦点X射线管
* 高压发生器和高压电缆
* 带真空软管的预真空泵
* 带软管和冷却剂的冷却装置
* 19英寸安装面板上的电子管控制器，电源和安全继电器
* 一组用于X射线管和组件电气连接的电缆
* 备件箱，文档和操作软件
微焦点双头X射线管
XC系列微焦点双管头X射线管技术参数技术参数：
